半导体自动化设备产业是电子信息产业重要的基础性产业，具有高投入、多品种、小批量、更新换代快的特点，在国民经济总产值中的占比不高，但对经济发展的“杠杆”和“倍增”作用却十分巨大。
　　据统计，“十一五”期间我国半导体电子专用设备销售收入年均增长率为20%，从2005年的783亿元增长到超过1987亿元，半导体电子专用设备工业协会统计的行业骨干企业年均增长率为25%，从52.7亿元增长到160.6亿元。
　　改革开放后，我国经济进入了一个新的发展期，各行各业均出现了前所未有的发展局面，半导体电子专用设备制造业以其较高的盈利水平和独具特色的经营地位，深得各地投资者及设备制造企业的青睐。特别是海湾战争爆发以后，由于国家对信息产业自主发展的高度重视，使得半导体电子专用设备制造业如鱼得水，连年以较快的速度递增发展。

　　我国半导体电子专用设备制造业是一个发展比较晚的行业，建国后全国最早开始研制、生产半导体电子专用设备的企业起步始于20 世纪50年代中期，研制产品仅限于普通半导体、电真空等单机生产工艺设备，受“文革”十年“闭关自守”和国外技术封锁等原因的影响，产品的技术水平一直处于低端状态。到20 世纪80 年代初期时，全国仅有16 家半导体电子专用设备及工具制造企业，产品技术水平较世界先进水平相差二十多年。

半导体电子专用设备产业是重大装备制造业的重要分支，是知识、技术、资本高度密集型产业，处于电子信息产业链最高端，其基础性强、关联度高、技术难度大、进入门槛高，决定着一个国家或地区电子信息产品制造业的整体水平，也是电子信息产业综合实力的重要标志。

　　“十一五”期间我国半导体电子专用设备仪器行业取得较大成绩，但仍存在突出问题：产业规模偏小，本土企业实力不强；自主创新能力有待提高，高端设备开发相对落后；部分产品性价比虽高，但可靠性较差，市场占有率低；设备开发与产品制造工艺脱离，影响了技术成果产业化的进程；高水平、复合型人才缺乏。统计数据表明，“十一五”期间我国电子仪器规模以上企业年均增长19％，到“十一五”末实现销售收入940亿元。

五年间，半导体电子专用设备仪器产品中太阳能光伏设备以及元器件参数测量仪器、超低频测量仪器等保持了较大幅度的增长。